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真空沉积炉是用于制备碳碳复合材料，沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料的表面热解炭涂层制备。
气相沉积功能+真空烧结炉设计，采用石墨碳管为发热体，碳毡为保温层。
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