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真空沉积炉定义


       真空沉积炉是用于制备碳碳复合材料,沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料的表面热解炭涂层制备。


       采用高温钼管为热电偶保护管,提高热电偶使用温度及延长使用寿命。

       气相沉积功能+真空烧结炉设计,采用石墨碳管为发热体,碳毡为保温层。


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