石墨炉原子化器由加热电源、保护气控制系统和石墨管状炉组成。加热电源供给原子化器能量，电流通过石墨管产生高热高温，温度可达到3000℃。

　　保护气控制系统保护石墨管不被烧蚀，内气路中Ar气从管两端流向管中心，由管中心孔流出，以有效地除去在干燥和灰化过程中产生的基体蒸气，同时保护已原子化了的原子不再被氧化。

      在原子化阶段，停止通气，以延长原子在吸收区内的平均停留时间，避免对原子蒸气的稀释。石墨炉原子化器原子化在石墨管中进行。

　　许多元素的相对灵敏度可达`10^(-9)`～`10^(-12)`克/毫升，绝对灵敏度为`10^(-10)`～`10^(-13)`克。与其它几种非火焰法相比，适用元素较多，稳定性较好，应用较广。